| No.4-030 | 電子線三次元粗さ解析装置 |
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| 機器の概要 | 微細形状の三次元粗さ測定と金属分析が可能。 |
| 備品の用途 | 微細形状の三次元形状の測定、表面粗さの測定 |
| 仕様 | ・Ｚ方向分析能 （凹凸測定）：1mm、・ＸＹ方向分析能（ＳＥＭ後）：3.5mm、三次元表面解析機能、加速電圧：１〜35KV、倍率：10〜30000倍 |
| メーカー名 | （株）エリオニクス |
| 型式 | ＥＲＡ-800 |
| 購入年度 | H9年度 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
