No.4-030 | 電子線三次元粗さ解析装置 |
---|---|
機器の概要 | 微細形状の三次元粗さ測定と金属分析が可能。 |
備品の用途 | 微細形状の三次元形状の測定、表面粗さの測定 |
仕様 | ・Z方向分析能 (凹凸測定):1mm、・XY方向分析能(SEM後):3.5mm、三次元表面解析機能、加速電圧:1〜35KV、倍率:10〜30000倍 |
メーカー名 | (株)エリオニクス |
型式 | ERA-800 |
購入年度 | H9年度 |
担当 | ものづくり室 |
機器使用料(消費税込) | 料金表をご覧ください。 |
設備写真 |
![]() |
参考サイト | |
お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |