| No.5-015 | 微細レーザー照射装置 |
|---|---|
| 機器の概要 | 最小スポット径0.8µm大のレーザー照射が可能なシステム リアルタイムでの顕微観察を行いながら、高い位置精度でのレーザー照射が可能なシステム |
| 備品の用途 | 微細な対象物に対するレーザー加工 |
| 仕様 | レーザー源：YAG532/355nm レーザー出力：～1mJ 位置決め精度：XY ±0.08µm WD：12mm ステージサイズ：50平方mm |
| メーカー名 | |
| 型式 | |
| 購入年度 | 2023 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 | |
| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
