| No.5-017 | 半導体環境試験装置 |
|---|---|
| 機器の概要 | 石英管内を真空加熱しつつ、プロセスガス（例：Ar CH4 H2）を流量制御しながら導入することが可能なシステム |
| 備品の用途 | 各種素材の耐熱・耐ガス環境試験 熱CVDによるデポ膜評価 |
| 仕様 | 基板サイズ：～2 インチ 供給ガス ：3 系統（ Ar/CH4/H2 等） 加熱管素材：合成石英 最高到達温度：1,200℃ 制御方法 1 ゾーン |
| メーカー名 | 誠南工業株式会社 |
| 型式 | SE-A0557 |
| 購入年度 | 2023 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 | |
| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
